eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1704
|
Название: | Modes and the alpha-gamma transition in rf capacitive discharges in N2O at different rf frequencies |
Авторы: | Lisovskiy, Valeriy Booth, Jean-Paul Landry, Karine Douai, David Cassagne, Valerick Yegorenkov, Vladimir |
Ключевые слова: | plasma physics gas discharges |
Дата публикации: | Окт-2006 |
Издатель: | PHYSICS OF PLASMAS |
Библиографическое описание: | PHYSICS OF PLASMAS 13, 103505 (2006) |
Серия/Номер: | ;DOI: 10.1063/1.2364135 |
Реферат: | This paper reports current-voltage characteristics and pressure-voltage transition curves from the weak-current a-mode to the strong-current g-mode for rf capacitive discharges in N2O at
frequencies of 2 MHz, 13.56 MHz, and 27.12 MHz. At 2 MHz the rf discharge is mostly resistive whereas at 13.56 MHz and 27.12 MHz it is mostly capacitive. The weak-current a-mode was found to exist only above a certain minimum gas pressure for all frequencies studied [N. Yatsenko Sov. Phys. Tech. Phys. 26, 678 (19810] previously proposed that the a−g transition corresponds to
breakdown of the sheaths. However, we show that this is the case only for sufficiently high gas pressures. At lower pressure there is a smooth transition from the weak-current a-mode to a strong-current g-mode, in which the sheaths produce fast electrons but the sheath has not undergone breakdown. |
URI: | http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1704 |
Располагается в коллекциях: | Наукові роботи. Фізико-технічний факультет
|
Все ресурсы в архиве защищены авторским правом, все права сохранены.
|