Архив электронных ресурсов
[Зарегистрироваться]
 

eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1704

Название: Modes and the alpha-gamma transition in rf capacitive discharges in N2O at different rf frequencies
Авторы: Lisovskiy, Valeriy
Booth, Jean-Paul
Landry, Karine
Douai, David
Cassagne, Valerick
Yegorenkov, Vladimir
Ключевые слова: plasma physics
gas discharges
Дата публикации: Окт-2006
Издатель: PHYSICS OF PLASMAS
Библиографическое описание: PHYSICS OF PLASMAS 13, 103505 (2006)
Серия/Номер: ;DOI: 10.1063/1.2364135
Реферат: This paper reports current-voltage characteristics and pressure-voltage transition curves from the weak-current a-mode to the strong-current g-mode for rf capacitive discharges in N2O at frequencies of 2 MHz, 13.56 MHz, and 27.12 MHz. At 2 MHz the rf discharge is mostly resistive whereas at 13.56 MHz and 27.12 MHz it is mostly capacitive. The weak-current a-mode was found to exist only above a certain minimum gas pressure for all frequencies studied [N. Yatsenko Sov. Phys. Tech. Phys. 26, 678 (19810] previously proposed that the a−g transition corresponds to breakdown of the sheaths. However, we show that this is the case only for sufficiently high gas pressures. At lower pressure there is a smooth transition from the weak-current a-mode to a strong-current g-mode, in which the sheaths produce fast electrons but the sheath has not undergone breakdown.
URI: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1704
Располагается в коллекциях:Наукові роботи. Фізико-технічний факультет

Файлы этого ресурса:

Файл Описание РазмерФормат
PhysPlasmas_13_103505_2006_N2O_Modes.pdf284,37 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Просмотр статистики

Все ресурсы в архиве защищены авторским правом, все права сохранены.

 

Valid XHTML 1.0! Яндекс цитирования DSpace Software Copyright   ©   2002-2008   MIT   and   Hewlett-Packard - Обратная связь