Формування комбінованих потоків активованих частинок в плазмових системах зі схрещеними ЕН-полями для синтезу наноструктурних покриттів

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЄфименко , Ніна Олександрівна
dc.contributor.authorYefymenko, N.O.
dc.date.accessioned2024-01-16T09:22:13Z
dc.date.available2024-01-16T09:22:13Z
dc.date.issued2023
dc.description.abstractДисертаційну роботу присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування потоків іонів, електронів і хімічно активних частинок в кластерній іонно-плазмовій системі (КІПС) та в комбінованій магнетронній іонно-променевой / плазмовій системах (МІПС) зі схрещеними ЕН полями для синтезу складно-композиційних наноструктурних покриттів. Створення кластерних та комбінованих іонно-плазмових систем, які складаються з декількох плазмових модулів є перспективним напрямком для отримання потоків активованих частинок з можливістю незалежного керування енергією та густиною струму, що необхідно для розробки новітніх технологій синтезу наноструктурних функціональних покриттів з заданими параметрами.
dc.description.abstractThe dissertation is devoted to the research of the processes of generation and transport of flows of ions, electrons and chemically active particles in the cluster ion-plasma system (CIPS) and in the combined magnetron ion-beam / plasma systems (MIPS) with crossed EН fields for the synthesis of complex-composite nanostructured coatings. The creation of cluster and combined ion-plasma systems, which consist of several plasma modules, is a promising direction for obtaining flows of activated particles with the possibility of independent control of the energy and current density of ions, electrons and chemically active particles, which is necessary for the development of the latest synthesis technologies nanostructured functional coatings with specified parameters.
dc.identifier.citationЄфименко Ніна Олександрівна. Формування комбінованих потоків активованих частинок в плазмових системах зі схрещеними ЕН-полями для синтезу наноструктурних покриттів : дис. ... д-ра філософії : 105 – Прикладна фізика та наноматеріали (Галузь знань 10 – Природничі науки) / Н.О. Єфименко. – Харків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, 2023. – 175 с.
dc.identifier.otherУДК: 533.9
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/18191
dc.language.isouk
dc.publisherХарків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна
dc.subjectNATURAL SCIENCES
dc.subjectіонний пучок
dc.subjectджерело іонів
dc.subjectмагнетронний розряд
dc.subjectнизькотемпературна плазма
dc.subjectіонно-плазмові системи
dc.subjectгазовий розряд у магнітному полі
dc.subjectнанотехнології
dc.subjection beam
dc.subjection source
dc.subjectmagnetron discharge
dc.subjectlow-temperature plasma
dc.subjection-plasma systems
dc.subjectgas discharge in a magnetic field
dc.subjectnanotechnology
dc.titleФормування комбінованих потоків активованих частинок в плазмових системах зі схрещеними ЕН-полями для синтезу наноструктурних покриттів
dc.title.alternativeThe formation of combined flows of activated particles in plasma systems with crossed EH fields for the synthesis of nanostructured coatings
dc.typeDissertation

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Дисертація Єфименко Ніна ННІ ФТФ.pdf
Розмір:
4.28 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

ДФ 64.051.001 – ...