Динаміка та фазові стани макрочастинок в пучково-плазмових системах

Ромащенко, Олена Володимирівна; Ромащенко, Елена Владимировна; Romashchenko, O.V.

Динаміка та фазові стани макрочастинок в пучково-плазмових системах

dc.contributor.author	Ромащенко, Олена Володимирівна
dc.contributor.author	Ромащенко, Елена Владимировна
dc.contributor.author	Romashchenko, O.V.
dc.date.accessioned	2021-05-07T08:22:43Z
dc.date.available	2021-05-07T08:22:43Z
dc.date.issued	2021
dc.description	Дисертаційну роботу присвячено теоретичному дослідженню та числовому моделюванню взаємодії макрочастинок (МЧ) з низькотемпературною плазмою низького тиску, в якій присутні пучки електронів чи іонів. Розглянуто процеси заряджання МЧ у плазмі з електронним (іонним) пучком, процеси енергетичного обміну між МЧ та плазмою з пучком електронів (іонів), що визначають динаміку та фазові стани МЧ у пучково-плазмових системах. Досліджено динаміку та фазові стани МЧ у плазмі вакуумно-дугового розряду за умов, що відповідають різним технологічним процесам: вакуумно-дуговому осадженню тонких плівок та плазмовій імерсійній іонній імплантації. У дисертації розкрито питання про методи очищення плазми від МЧ. Особливу увагу приділено альтернативним засобам зменшення забруднень МЧ покриттів без застосування магнітних фільтрів. Диссертационная работа посвящена теоретическому исследованию и численному моделированию взаимодействия макрочастиц (МЧ) с низкотемпературной плазмой низкого давления, в которой присутствуют пучки электронов или ионов. Исследованы процессы зарядки МЧ в плазме с электронным (ионным) пучком, процессы энергетического обмена между МЧ и плазмой с пучком электронов (ионов), которые определяют динамику и фазовые состояния МЧ в пучково-плазменных системах. Исследованы динамика и фазовые состояния МЧ в плазме вакуумно-дугового разряда при условиях, соответствующих различным технологическим процессам: вакуумно-дуговому осаждению тонких пленок и плазменной иммерсионной ионной имплантации.	ru_RU
dc.description.abstract	Romashchenko O.V. Dynamics and phase states of macroparticles in the beam-plasma systems. – Manuscript. Thesis for a Doctoral Degree in Physics and Mathematics: Speciality 01.04.08 – Plasma Physics. – V. N. Karazin Kharkiv National University of the Ministry of Education and Science of Ukraine. – Kharkiv. 2021. The thesis is devoted to the theoretical study and numerical modeling of the interaction of macroparticles (MPs) with the low-temperature plasma of the low pressure in the presence of the electron or ion beams. The physical mechanisms of the MP dynamics and phase states in the beam-plasma systems are shown to be complex ones. The processes of the MP charging in the plasma with electron (ion) beam, the processes of the energy exchange between the MP and the plasma with electron (ion) beam, that influence the dynamics and phase states of the MP in the beam-plasma systems, are considered. The effect of different electron emission processes on MP charging in the plasma with electron (ion) beam is studied in detail. In particular, the effect of the secondary electron emission, which is directly induced by electron (ion) beam bombardment, on MP is considered. Besides, the consequences of the MP bombardment by the electron (ion) beam due to the increasing of temperature and absolute value of negative potential of the MP are examined, namely the thermionic and field electron emissions. The theoretical model of the MP charging in the beam-plasma systems is modified to account the possible electron emission processes from the MP surface, such as secondary electron-electron emission, the thermionic electron emission, the field electron emission and thermal-field electron emission. The role of each electron emission is determined.	ru_RU
dc.identifier.citation	Ромащенко, Олена Володимирівна. Динаміка та фазові стани макрочастинок в пучково-плазмових системах : дисертація ... доктора фізико-математичних наук (спеціальність 01.04.08 – фізика плазми) / О.В. Ромащенко. – Харків : Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна, 2021. - 323 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/16088
dc.language.iso	uk	ru_RU
dc.publisher	Харків : Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна	ru_RU
dc.subject	низькотемпературна плазма	ru_RU
dc.subject	макрочастинка	ru_RU
dc.subject	електронний пучок	ru_RU
dc.subject	іонний пучок	ru_RU
dc.subject	вакуумно-дуговий розряд	ru_RU
dc.subject	вторинна електронна емісія	ru_RU
dc.subject	потенціальна електронна емісія	ru_RU
dc.subject	кінетична електронна емісія	ru_RU
dc.subject	магнітний фільтр	ru_RU
dc.subject	низкотемпературная плазма	ru_RU
dc.subject	макрочастица	ru_RU
dc.subject	электронный пучок	ru_RU
dc.subject	ионный пучок	ru_RU
dc.subject	вакуумно-дуговой разряд	ru_RU
dc.subject	вторичная электронная эмиссия	ru_RU
dc.subject	потенциальная электронная эмиссия	ru_RU
dc.subject	кинетическая электронная эмиссия	ru_RU
dc.subject	магнитный фильтр	ru_RU
dc.subject	low-temperature plasma	ru_RU
dc.subject	macroparticle	ru_RU
dc.subject	electron beam	ru_RU
dc.subject	ion beam	ru_RU
dc.subject	vacuum arc discharge	ru_RU
dc.subject	secondary electron emission	ru_RU
dc.subject	potential electron emission	ru_RU
dc.subject	kinetic electron emission	ru_RU
dc.subject	magnetic filter	ru_RU
dc.title	Динаміка та фазові стани макрочастинок в пучково-плазмових системах	ru_RU
dc.title.alternative	Динамика и фазовые состояния макрочастиц в пучково-плазменных системах	ru_RU
dc.title.alternative	Dynamics and phase states of macroparticles in the beam-plasma systems	ru_RU
dc.type	Book	ru_RU