Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЛисовский, В.А.
dc.contributor.authorХарченко, Н.Д.
dc.date.accessioned2011-07-11T11:09:21Z
dc.date.available2011-07-11T11:09:21Z
dc.date.issued2009
dc.description.abstractДанная работа посвящена экспериментальному изучению влияния высокочастотного электрического поля на радиальные зависимости плотности тока ионов разряда постоянного тока, а также постоянного напряжения на радиальные зависимости плотности тока высокочастотного разряда. В разрядной камере, содержащей электрод с коллекторами, экспериментально измерены радиальные зависимости плотности ионного тока продольного комбинированного разряда (высокочастотное и постоянное электрическое поля прикладываются к одним и тем же электродам) для разных давлений SF6, а также вольтамперные характеристики разряда. Определены оптимальные условия для проведения технологических процессов, используя комбинированный разряд в SF6. Цю роботу присвячено експериментальному вивченню впливу високочастотного електричного поля на радіальні залежності густини струму іонів розряду постійного струму, а також постійної напруги на радіальні залежності густини струму високочастотного розряду. В розрядній камері, що містить у собі катод з колекторами, були експериментально виміряні радіальні залежності густини струму поздовжнього комбінованого розряду (високочастотне та постійне електричні поля прикладались до одних і тих самих електродів) для різних тисків SF6, а також вольтамперні характеристики розряду. Визначені оптимальні умови для проведення технологічних процесів, що використовують розряд в SF6. This work is devoted to experimental study of the radio frequency (RF) electric field influence to the radial ion current density profiles of the direct current (DC) discharge, and the DC voltage influence to the radial ion current density profiles of the RF discharge. In the discharge chamber, which includes electrode with collectors radial ion current density profiles of the longitudinal combined discharge (RF and DC electric fields were applied to the same electrodes) were measured experimentally for different SF6 pressures, and also current-voltage characteristics of the discharge were obtained. The optimal conditions for plasma technologies using combined discharge in SF6 were defined.en
dc.identifier.citationЛисовский В.А. Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Фізична інженерія поверхні. – 2009. – Том 7, № 3. – С. 204 – 209en
dc.identifier.otherУДК 529.23
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/3853
dc.language.isoruen
dc.publisherХарківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН Україниen
dc.subjectвысокочастотное и постоянное электрическое полеen
dc.subjectплотностьen
dc.subjectэлектродen
dc.subjectкомбинированный разрядen
dc.subjectвольт-амперная характеристикаen
dc.titleРадиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6en
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
09lisrad.pdf
Розмір:
244.3 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.9 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Наукові роботи. Навчально-науковий інститут "Фізико-технічний факультет"