Зажигание разряда низкого давления в комбинированных электрических полях

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorХарченко, Н.Д.
dc.contributor.authorЛисовский, В.А.
dc.date.accessioned2011-10-18T10:46:00Z
dc.date.available2011-10-18T10:46:00Z
dc.date.issued2009
dc.description.abstractВ данной работе по аналогии трем режимам существования продольного комбинированного разряда предложено разделить зажигание разряда при одновременном наложении постоянного и высокочастотного электрических полей на три режима: 1) зажигание высокочастотного разряда (ВЧ), возмущенное постоянным электрическим полем; 2) зажигание в комбинированных полях; 3) зажигание разряда постоянного тока, возмущенное ВЧ электрическим полем. Показано, что наложение постоянного напряжения одновременно с высокочастотным сначала увеличивает ВЧ напряжение зажигания, по сравнению с самостоятельным ВЧ разрядом. Однако при достаточно больших постоянных напряжениях ВЧ напряжение зажигания комбинированного разряда уменьшается с увеличением постоянного напряжения и достигает нуля, когда зажигается самостоятельный разряд постоянного тока. Изучено влияние ВЧ напряжения на зажигание разряда постоянного тока. При наложении ВЧ напряжения большего, чем минимальное напряжение зажигания самостоятельного ВЧ разряда, кривая зависимости постоянного напряжения зажигания комбинированного разряда от давления газа состоит из двух частей. In this work by analogy to the three modes of the combined (RF+DC) discharges existence, we distinguish the ignition of the combined discharges also in three modes: 1) RF breakdown perturbed by the DC electric field, 2) breakdown in the combined field, 3) DC breakdown perturbed by the RF electric field. It is shown that application of the DC voltage combined with the RF first increases the RF breakdown voltage compared to the breakdown voltage of self-sustained RF discharge. However at sufficiently high DC voltages the DC field starts to contribute to the ionization of gas molecules, RF breakdown voltage goes down with the increasing of the DC voltage applied to the combined discharge and equals to zero, when the self-sustained DC discharge ignites. The DC breakdown curve, influenced by the RF voltages higher than the minimum RF breakdown voltage Urf.min, consists of two parts. В цій роботі аналогічно трьом режимам існування поздовжнього комбінованого розряду запропоновано розділити запалювання розряду при одночасному прикладенні постійного та високочастотного електричних полів на три режими: 1) запалювання високочастотного розряду (ВЧ), збурене постійним електричним полем; 2) запалювання в комбінованих полях; 3) запалювання розряду постійного струму, збурене ВЧ електричним полем. Показано, що прикладення постійної напруги одночасно з ВЧ спочатку збільшує ВЧ напругу запалення, у порівнянні з самостійним ВЧ розрядом Однак, при достатньо великих значеннях постійної напруги, ВЧ напруга запалювання комбінованого розряду зменшується зі зростанням постійної напруги та досягає нульового значення, коли запалюється самостійний розряд постійного струму. Вивчено вплив ВЧ напруги на запалювання розряду постійного струму. Якщо прикладати ВЧ напругу більшу, ніж мінімальна напруга запалювання самостійного ВЧ розряду, крива залежності постійної напруги запалювання комбінованого розряду від тиску газу складається з двох частин.en
dc.identifier.citationХарченко Н.Д. Зажигание разряда низкого давления в комбинированных электрических полях / Н.Д. Харченко, В.А. Лисовский // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2009. – №859. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 2(42). – С. 101 - 108en
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/4826
dc.language.isoruen
dc.publisherХаркiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiнаen
dc.subjectcombined dischargeen
dc.subjectRF capacitively coupled dischargeen
dc.subjectDC dischargeen
dc.subjectgas breakdownen
dc.subjectlow pressure dischargeen
dc.subjectnitrogenen
dc.subjectargonen
dc.subjectкомбинированный разрядen
dc.subjectвысокочастотный емкостный разрядen
dc.subjectразряд постоянного токаen
dc.subjectзажигание разрядаen
dc.subjectразряд низкого давленияen
dc.subjectазотen
dc.subjectаргонen
dc.titleЗажигание разряда низкого давления в комбинированных электрических поляхen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
859_2(42)_09_p101-108.pdf
Розмір:
757.47 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.9 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Наукові роботи. Навчально-науковий інститут "Фізико-технічний факультет"