Плазмові технології в нанолітографії

dc.contributor.authorГречко, Я.О.
dc.date.accessioned2017-03-30T08:53:41Z
dc.date.available2017-03-30T08:53:41Z
dc.date.issued2016
dc.descriptionТеза доповіді студентської наукової роботиru_RU
dc.identifier.citationСтудентська наукова конференція з прикладної фізики „Актуальні проблеми сучасної фізики”: Тези. – Х.: ХНУ імені В.Н. Каразіна, 2016. - 15с.ru_RU
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/12631
dc.language.isoukru_RU
dc.publisherХНУ імені В.Н.Каразінаru_RU
dc.titleПлазмові технології в нанолітографіїru_RU

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
Гречко.docx
Розмір:
15.8 KB
Формат:
Microsoft Word XML
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.8 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: