Экспериментальное изучение радиальной структуры ВЧ разряда

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЛисовский, В.А.
dc.contributor.authorХарченко, Н.Д.
dc.contributor.authorЕгоренков, В.Д.
dc.date.accessioned2011-10-24T08:31:04Z
dc.date.available2011-10-24T08:31:04Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractВ работе исследовано распределение интенсивности свечения разрядной плазмы по радиусу трубки и измерены ленгмюровским зондом радиальные профили температуры электронов и плотности плазмы в ВЧ разряде. Экспериментально обнаружено резкое увеличение температуры электронов и интенсивности свечения вблизи стенки трубки в слаботочной моде ВЧ разряда, при этом радиальное распределение плотности плазмы максимально вблизи границы радиального слоя. В моде ВЧ разряда понижение температуры электронов во всем плазменном объеме приводит к ослаблению амбиполярного электрического поля и исчезновению пика интенсивности свечения вблизи стенки трубки. This paper studies the distribution of the glow intensity of the discharge plasma against the tube radius and reports the radial profiles of electron temperature and plasma concentration in the RF discharge registered with a Langmuir probe. An abrupt increase of electron temperature and glow intensity near the tube wall in the weak-current mode of the RF discharge is revealed, the radial distribution of plasma concentration possessing a maximum near the radial sheath boundary. In the mode of the RF discharge the electron temperature decrease in the total plasma volume leads to an ambipolar electric field weakening and the peak of the glow intensity near the tube wall vanishes.en
dc.identifier.citationЛисовский В.А. Экспериментальное изучение радиальной структуры ВЧ разряда / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко, В.Д. Егоренков // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2008. – № 823. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 3(39). – С. 103 - 109en
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/4874
dc.language.isoruen
dc.publisherХаркiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiнаen
dc.subjectradio-frequency capacitively coupled dischargesen
dc.subjectradial structureen
dc.subjectmode of the RF dischargeen
dc.subjectlow pressureen
dc.subjectnitrogenen
dc.subjectвысокочастотный емкостный разрядen
dc.subjectрадиальная структураen
dc.subjectрежим ВЧ разрядаen
dc.subjectнизкое давлениеen
dc.subjectазотen
dc.titleЭкспериментальное изучение радиальной структуры ВЧ разрядаen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
823_3(39)_08_p103-109.pdf
Розмір:
477.51 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.9 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Наукові роботи. Навчально-науковий інститут "Фізико-технічний факультет"