Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЗиков, О.В.
dc.contributor.authorЯковін, С.Д.
dc.contributor.authorДудін, С.В.
dc.date.accessioned2011-07-11T11:58:09Z
dc.date.available2011-07-11T11:58:09Z
dc.date.issued2009
dc.description.abstractВ роботі представлено результати розробки та дослідження технологічного модуля для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук типу оксидів та оксинітридів на базі магнетронного та ВЧ індукційного розрядів. Основна ідея технології полягає в сепарації двох процесів: розпилення металевої мішені за допомогою магнетрона постійного струму в інертному газі та активації реактивного газу за допомогою додаткового джерела плазми на базі ВЧ індукційного розряду з подальшим транспортуванням частинок активованого газу безпосередньо до області синтезу. В работе представлены результаты разработки и исследования технологического модуля для реактивного синтеза сложнокомпозиционных соединений типа оксидов и оксинитридов на базе магнетронного и ВЧ индукционного разрядов. Основная идея технологии заключается в сепарации двух процессов: распыления металлической мишени с помощью магнетрона постоянного тока в инертном газе и активации реактивного газа с помощью дополнительного источника плазмы на основе ВЧ индукционного разряда с дальнейшей транспортировкой частиц активированного газа непосредственно к области синтеза. The results of development and research of a technological module for reactive synthesis of complex composite coatings like oxides and nitrides based on DC magnetron and RF inductive discharges are presented in the paper. The basic idea of technology consists in separation of two processes: metal target sputtering using DC magnetron in rare gas and activation of reactive gas by means of additional plasma source based on RF inductive discharge with further transportation of particles of the activated gas immediately to the surface of synthesis.en
dc.identifier.citationЗиков О.В. Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму / О.В. Зиков, С.Д. Яковін, С.В. Дудін // Фізична інженерія поверхні. – 2009. – Том 7, № 3. – С. 195 – 203en
dc.identifier.otherУДК 533.924
dc.identifier.urihttps://ekhnuir.karazin.ua/handle/123456789/3858
dc.language.isouken
dc.publisherХарківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН Україниen
dc.subjectреактивний синтезen
dc.subjectскладнокомпозиційні сполукиen
dc.subjectВЧ індукційний розрядen
dc.subjectмагнетронen
dc.subjectметалева мішеньen
dc.titleСинтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струмуen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
09zyksin.pdf
Розмір:
312.25 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.9 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Наукові роботи. Навчально-науковий інститут "Фізико-технічний факультет"