Сверхвысокочастотный плазменный источник
Вантажиться...
Дата
2007
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна
Анотація
В работе представлена методика расчета параметров цилиндрического резонатора, используемого в СВЧ источнике плазмы в неоднородном магнитном поле в условиях электронного циклотронного резонанса. Приведены результаты изучения условий существования СВЧ разряда при давлении рабочего газа (воздух) порядка 10-5 мм рт.ст. Экспериментально показано, что с его помощью может создаваться плазма с максимальной плотностью частиц на выходе до 1010 см—3 и максимальной плотностью тока в плазменном потокe 600 мкА/см2.
The method of the calculation parameter cylindrical resonator is presented in the work, which is used in the SHF source of the plasma in inhomogeneous magnetic field at electronic cyclotron resonance. The results of the study of the conditions of existence SHF discharge at pressure worker gas (the air) of the order 10-5 torr is presented in the work too. It is shown, that with its help plasma with density at outlet to 1010 sm3, with the maximal density of currents in a plasma stream 600 мкА/sm2 is created.
Опис
Ключові слова
plasma source, SHF oscillation generator, external spatially-inhomogeneous magnetic field, SHF electromagnetic field, electron cyclotron resonance, plasma density, плазменный источник, генератор сверхвысокочастотных колебаний, внешнее неоднородное магнитное поле, сверхвысокочастотное электромагнитное поле, электронный циклотронный резонанс, плотность плазмы
Бібліографічний опис
Власов В.В. Сверхвысокочастотный плазменный источник / В.В. Власов // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2007. – № 784. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 4(36). – С. 121-124