DSpace
[Register]
 

eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >

Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/4916

Название: Сверхвысокочастотный плазменный источник
Авторы: Власов, В.В.
Ключевые слова: plasma source
SHF oscillation generator
external spatially-inhomogeneous magnetic field
SHF electromagnetic field
electron cyclotron resonance
plasma density
плазменный источник
генератор сверхвысокочастотных колебаний
внешнее неоднородное магнитное поле
сверхвысокочастотное электромагнитное поле
электронный циклотронный резонанс
плотность плазмы
Issue Date: 2007
Издатель: Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна
Библиографическое описание: Власов В.В. Сверхвысокочастотный плазменный источник / В.В. Власов // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2007. – № 784. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 4(36). – С. 121-124
Краткий осмотр (реферат): В работе представлена методика расчета параметров цилиндрического резонатора, используемого в СВЧ источнике плазмы в неоднородном магнитном поле в условиях электронного циклотронного резонанса. Приведены результаты изучения условий существования СВЧ разряда при давлении рабочего газа (воздух) порядка 10-5 мм рт.ст. Экспериментально показано, что с его помощью может создаваться плазма с максимальной плотностью частиц на выходе до 1010 см—3 и максимальной плотностью тока в плазменном потокe 600 мкА/см2. The method of the calculation parameter cylindrical resonator is presented in the work, which is used in the SHF source of the plasma in inhomogeneous magnetic field at electronic cyclotron resonance. The results of the study of the conditions of existence SHF discharge at pressure worker gas (the air) of the order 10-5 torr is presented in the work too. It is shown, that with its help plasma with density at outlet to 1010 sm3, with the maximal density of currents in a plasma stream 600 мкА/sm2 is created.
URI: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/4916
Appears in Collections:Наукові роботи. Фізико-технічний факультет

Files in This Item:

File Description SizeFormat
784_4(36)_07_p121-124.pdf388,55 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
View Statistics

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

Valid XHTML 1.0! Яндекс цитирования DSpace Software Copyright © 2002-2010  Duraspace - Feedback