Архив электронных ресурсов
[Зарегистрироваться]
 

eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/4892

Название: Режимы горения продольного комбинированного разряда в азоте низкого давления
Авторы: Лисовский, В.А.
Харченко, Н.Д.
Ключевые слова: RF capacitive gas discharge
DC discharge
longitudinal combined discharge
low pressure
nitrogen
высокочастотный емкостный разряд
разряд постоянного тока
продольный комбинированный разряд
низкое давление
азот
Дата публикации: 2007
Издатель: Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна
Библиографическое описание: Лисовский В.А. Режимы горения продольного комбинированного разряда в азоте низкого давления / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2007. – № 763. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 1(33). – С. 63 - 68
Реферат: В работе исследованы режимы горения разряда низкого давления в комбинированном (ВЧ + постоянном электрическом) поле. Предложено различать три режима продольного комбинированного разряда (ВЧ и постоянное напряжения прикладывались к одним и тем же электродам): 1) несамостоятельный ВЧ разряд, возмущенный постоянным электрическим полем, 2) комбинированный разряд, 3) несамостоятельный разряд постоянного тока, возмущенный ВЧ электрическим полем. Определены условия существования этих режимов. Показано, что диапазон параметров, в котором первый режим комбинированного разряда может быть погашен повышением постоянного напряжения, ограничен со стороны низких давлений кривой потухания ВЧ разряда, а также кривой перехода комбинированного разряда из первого режима во второй. Аналитически получено соотношение между толщинами “катодного” и “анодного” приэлектродных слоев для первого режима, которое хорошо согласуется с экспериментальными данными. The modes of low pressure combined (RF + DC) gas discharge were studied in this work. Longitudinal combined discharge (RF and DC voltages were applied to the same electrodes) can exist in three modes: 1) unself-sustained RF discharge, disturbed with DC electrical field, 2) combined discharge, 3) unself-sustained DC discharge, disturbed with RF electrical field. Conditions of existance of these modes were determined. The parameter range in which combined discharge burning in the first mode can be extinguished by increasing of DC voltage is limited in the low-pressure side with the extinction curve and the curve of the transition of combined discharge from the first mode to the second one. Relation between thicknesses of the “cathode” and “anode” layers was analytically obtained which agrees to the experimental results.
URI: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/4892
Располагается в коллекциях:Наукові роботи. Фізико-технічний факультет

Файлы этого ресурса:

Файл Описание РазмерФормат
763_1(33)_07_p63-68.pdf512,22 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Просмотр статистики

Все ресурсы в архиве защищены авторским правом, все права сохранены.

 

Valid XHTML 1.0! Яндекс цитирования DSpace Software Copyright   ©   2002-2008   MIT   and   Hewlett-Packard - Обратная связь