Архив электронных ресурсов
[Зарегистрироваться]
 

eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/4873

Название: Нормальный режим ВЧ разряда в аммиаке
Авторы: Лисовский, В.А.
Ключевые слова: radio frequency capacitive discharge
weak-current mode
normal mode
abnormal mode
current-voltage characteristic
ammonia
высокочастотный емкостный разряд
слаботочный режим
нормальный режим
аномальный режим
вольт-амперная характеристика
аммиак
Дата публикации: 2008
Издатель: Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна
Библиографическое описание: Лисовский В.А. Нормальный режим ВЧ разряда в аммиаке / В.А. Лисовский // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2008. – № 823. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 3(39). – С. 97 - 102
Реферат: В данной работе представлены вольт-амперные характеристики слаботочного режима ВЧ разряда в аммиаке для частот ВЧ электрического поля 13,56 МГц и 27,12 МГц. Получено, что только аномальный режим горения наблюдается при низких давлениях, когда рост тока сопровождается повышением ВЧ напряжения с полным покрытием разрядом площади электродов. Нормальный режим появляется при более высоких давлениях газа, когда рост тока происходит при увеличении площади, занимаемой разрядом на электродах. Разряд горит в аномальном режиме после полного покрытия поверхности электродов. Получено, что нормальная плотность тока увеличивается с повышением давления газа и частоты ВЧ электрического поля. Представлена аналитическая модель, предсказывающая пропорциональность нормальной плотности тока давлению в степени 5/6 и частоте в степени 11/6, что удовлетворительно описывает результаты экспериментов. This paper reports the current-voltage characteristics of a weak-current mode of the RF discharge in ammonia for the RF electric field frequencies of 13.56 MHz and 27.12 MHz. The only abnormal mode of burning is found to be observed at low pressure i.e. the current growth is accompanied by the RF voltage increase with a complete coverage of the electrode area by the discharge. The normal mode occurs at higher gas pressure i.e. the current growth takes place on increasing the area occupied by the discharge on the electrodes. The discharge burns in the abnormal mode after the electrode surface is completely covered with the discharge. The normal current density is found to increase with the growth of gas pressure and RF field frequency. An analytical model is reported predicting that the normal current density is proportional to the pressure to 5/6 power and to the frequency to 11/6 power furnishing the satisfactory description of the experimental results.
URI: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/4873
Располагается в коллекциях:Наукові роботи. Фізико-технічний факультет

Файлы этого ресурса:

Файл Описание РазмерФормат
823_3(39)_08_p97-102.pdf460,21 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Просмотр статистики

Все ресурсы в архиве защищены авторским правом, все права сохранены.

 

Valid XHTML 1.0! Яндекс цитирования DSpace Software Copyright   ©   2002-2008   MIT   and   Hewlett-Packard - Обратная связь