Нормальный режим продольного комбинированного разряда в газах низкого давления
Вантажиться...
Дата
2010
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна
Анотація
Данная работа посвящена изучению нормального режима продольного комбинированного разряда, когда ВЧ и постоянное напряжения прикладываются к одним и тем же электродам. Ранее нами было показано, что продольный комбинированный разряд может гореть в трех различных режимах. В настоящей работе получено, что в третьем режиме (разряд постоянного тока, возмущенный ВЧ напряжением) комбинированного разряда добавление ВЧ напряжения практически не влияет на величину постоянного тока разряда и площадь, занимаемую разрядным пятном на катоде. Однако после перехода во второй режим с ростом ВЧ напряжения наблюдается быстрый рост постоянного тока и расширение разрядного пятна. Показано, что в нормальном комбинированном разряде, как и в разряде постоянного тока, существует переходная область давлений, в которой j/p2 уменьшается с ростом разрядного тока. Экспериментально исследованы радиальные профили плотности тока продольного комбинированного разряда в нормальном и аномальном режимах, аксиальные профили свечения разряда, проведено моделирование при помощи программы Oopic Pro. Показано, что как для нормального, так и аномального комбинированного разряда характерны три режима горения, а также наличие двух пиков интенсивности свечения вблизи «анода», которые формируются во втором режиме. This work is devoted to investigation of a normal longitudinal combined discharge when DC and RF voltages are applied to the same electrodes. Previously it was shown that longitudinal combined discharge can burn in three possible modes. In this work it is shown that when we apply the RF voltage to the combined discharge burning in the third mode (DC discharge perturbed by the RF electric field) there is almost no influence on the DC current magnitude and the area occupied by the discharge spot at the “cathode”. However after transition to the second mode with the RF voltage growth, a fast increase of the DC current and broadening of the discharge spot is observed. It is shown that in the normal combined discharge as well as in the DC discharge, a transition pressure range exists, where j/p2 is not the constant value but decreases with the discharge current increase. The radial profiles of the discharge current density in normal and abnormal modes of longitudinal combined discharge and the axial profiles of the discharge were experimentally investigated, and modeling of the combined discharge using program Oopic Pro was made. It is shown that both normal and abnormal combined discharges can burn in three modes, and have two peaks of the glow intensity near the “anode” which are formed in the second mode. Цю роботу присвячено вивченню нормального режиму поздовжнього комбінованого розряду, коли ВЧ та постійна напруги прикладені до одних і тих самих електродів. Раніше нами було показано, що поздовжній комбінований розряд може існувати в трьох різних режимах. У цій роботі знайдено, що у третьому режимі (розряд постійного струму, збурений ВЧ напругою) комбінованого розряду додавання ВЧ напруги практично не впливає на величину постійного струму розряду та площу, яку займає розрядна пляма на катоді. Однак після переходу у другий режим із збільшенням ВЧ напруги спостерігається швидке підвищення постійного струму та розширення розрядної плями. Показано, що в нормальному комбінованому розряді, як і в розряді постійного струму, існує перехідна область тиску, у якій j/p2 зменшується із зростанням розрядного струму. Експериментально досліджені радіальні профілі густини струму поздовжнього комбінованого розряду в нормальному та аномальному режимах, аксіальні профілі світіння розряду, проведено моделювання за допомогою програми Oopic Pro. Показано, що як для нормального, так і аномального комбінованого розряду характерні три режими горіння, а також наявність двох піків інтенсивності світіння біля «аноду», які формуються у другому режимі
Опис
Ключові слова
нормальный режим, высокочастотный емкостный разряд, разряд постоянного тока, комбинированный разряд, низкое давление, азот, normal mode, radio-frequency capacitively coupled discharges, DC discharge, combined dischardes, low pressure, nitrogen
Бібліографічний опис
Лисовский В.А. Нормальный режим продольного комбинированного разряда в газах низкого давления / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2010. – № 899. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 2(46). – С. 74 - 82