Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения
Вантажиться...
Дата
2010
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Анотація
Исследовано влияние облучения протонами на газовыделение в тонкоплёночной системе. Установлено, что протонное облучение инициирует образование на границе раздела плёнка-подложка мелких сферических образований, размеры которых возрастают с ростом дозы. Это объясняется выходом на границу раздела внедрённого в подложку водорода. В ходе статистической обработки микроинтерферограмм поверхности плёнки проведен расчёт силовой и энергетической характеристик адгезии плёнок к подложкам, а также получено уравнение кинетики роста пузыря на границе раздела и проделана оценка газокинетических характеристик.
Досліджено вплив опромінення протонами на газовиділення в тонкоплівковій системі. З’ясовано, що протонне опромінення ініціює утворення на границі розподілу плівка-підкладинка дрібних сферичних утворень, розміри яких зростають зі зростанням дози. Це пояснюється виходом на границю розподілу водню, прониклого в підкладинку. Статистична обробка мікро-
інтерферограм поверхні плівки дозволила розрахувати силову та енергетичну характеристики
адгезії плівок до підкладинок, а також отримати рівняння кінетики росту пузиря на границі
розподілу та зробити оцінку газокінетичних характеристик.
The processes of the stimulated gas release and gas blister growth are investigated at an interface of
thin-film systems. The relationship of these processes to the adhesion of a system is established. A
method to determine the adhesion and to compute the adhesion characteristics in the film-substrate
system is described. Using the results of this study carried out a series of practical approaches is proposed
to measure the adhesion of thin films to substrates with the method of stimulated gas release.
Опис
Ключові слова
газовыделение, тонкие пленки, протонное облучение адгезия
Бібліографічний опис
Борисенко Ю.Н. Пограничное газовыделение в тонкопленочной системе под действием протонного облучения и возможности его применения / Ю.Н. Борисенко, В.М. Береснев, С.В. Литовченко, А.Б. Шевцов // Фізична інженерія поверхні. – 2010. – Том 8, № 4. – С. 353 – 357