Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2009

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України

Анотація

У цьому огляді наводяться результати наукових досліджень та прикладних розробок, виконаних у ХНУ імени В.Н. Каразіна НФТЦ МОН та НАН України з середини 70-х років до початку 90-х у галузі фізичних основ плазмових технологій для мікроелектроніки. В этом обзоре приводятся результаты научных исследований и прикладных разработок, выполненных в ХНУ имени В.Н. Каразина и НФТЦ МОН и НАН Украины с середины 70-х годов до начала 90-х в области физических основ плазменных технологий для микроэлектроники. In this review the findings of research investigations and applied developments made in both V.N. Karazin KNU and SCPT MES & NAS Ukraine from the end 70 up to the end 90 in the field of a basic physics of plasma technologies for micro- and nanoelectronics are presented.

Опис

Ключові слова

плазмові технології, мікроелектроніка, іонні джерела, масспектрометр

Бібліографічний опис

Фаренік В.І. Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях / В.І. Фаренік // Фізична інженерія поверхні. – 2009. – Том 7, № 3. – С. 166 – 170.