Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях
Вантажиться...
Дата
2009
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Анотація
У цьому огляді наводяться результати наукових досліджень та прикладних розробок, виконаних
у ХНУ імени В.Н. Каразіна НФТЦ МОН та НАН України з середини 70-х років до початку
90-х у галузі фізичних основ плазмових технологій для мікроелектроніки.
В этом обзоре приводятся результаты научных исследований и прикладных разработок, выполненных в ХНУ имени В.Н. Каразина и НФТЦ МОН и НАН Украины с середины 70-х годов
до начала 90-х в области физических основ плазменных технологий для микроэлектроники.
In this review the findings of research investigations and applied developments made in both
V.N. Karazin KNU and SCPT MES & NAS Ukraine from the end 70 up to the end 90 in the field of
a basic physics of plasma technologies for micro- and nanoelectronics are presented.
Опис
Ключові слова
плазмові технології, мікроелектроніка, іонні джерела, масспектрометр
Бібліографічний опис
Фаренік В.І. Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях / В.І. Фаренік // Фізична інженерія поверхні. – 2009. – Том 7, № 3. – С. 166 – 170.