Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем: Методическое пособие для лабораторных работ по предмету “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем”
Вантажиться...
Дата
2009
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ХНУ имени В.Н. Каразина
Анотація
Эти методические указания для лабораторных работ подготовлены для студентов физико-технического факультета, которые изучают курс
“Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем” на кафедре
физических технологий физико-технического факультета. Лабораторные работы охватывают различные свойства высокочастотного газового разряда низкого давления (зажигание разряда в высокочастотном и комбинированном
электрических полях, различные режимы горения высокочастотного разряда и т.д.).
Опис
Ключові слова
физика плазмы, газовый разряд
Бібліографічний опис
Лисовский В.А. Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем: Методическое пособие для лабораторных работ по предмету “Физические основы ВЧ плазменно-технологических систем”. – Х.: ХНУ имени В.Н. Каразина, 2009. - 24 с.