Определение коэффициентов переноса электронов в аргоне из кривых зажигания ВЧ и комбинированного разрядов низкого давления
Вантажиться...
Дата
1998-04
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Письма в Журнал Технической Физики
Анотація
Из кривых зажигания высокочастотного (ВЧ) и комбинированного (ВЧ + постоянное электрическое поле) разрядов низкого давления определены значения дрейфовой скорости электронов Vdr в диапазоне
E/p~70-2000 V/(cm·Torr) и отношение коэффициента продольной диффузии к подвижности электронов DL/mue в диапазоне
E/p~1-2000 V/(cm·Torr).
Опис
Ключові слова
plasma physics, gas discharges
Бібліографічний опис
ПЖТФ, 1998, том 24, выпуск 8, c. 49-55.