Архив электронных ресурсов
[Зарегистрироваться]
 

eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1712

Название: Alpha–gamma transition in RF capacitive discharge in low-pressure oxygen
Авторы: Lisovskiy, Valeriy
Yegorenkov, Vladimir
Ключевые слова: plasma physics
gas discharges
Дата публикации: Янв-2004
Издатель: www.elsevier.com/locate/vacuum
Библиографическое описание: Vacuum 74 (2004) 19–28
Серия/Номер: ;doi:10.1016/j.vacuum.2003.11.003
Реферат: We report the recorded current–voltage characteristics of a RF capacitive discharge in oxygen. Low-frequency oscillations of the plasma potential in a kilohertz frequency range are observed to accompany the transition of the discharge from a weak- (a-) to a strong-current (g-) regime in the low-pressure range. The weak-current regime of the RF capacitive discharge is observed within the pressure range limited not only from the medium pressure side but also from the lower-pressure one. Electron temperature and plasma density are registered with a probe technique.
URI: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1712
Располагается в коллекциях:Наукові роботи. Фізико-технічний факультет

Файлы этого ресурса:

Файл Описание РазмерФормат
Vacuum_2004.pdf297,74 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Просмотр статистики

Все ресурсы в архиве защищены авторским правом, все права сохранены.

 

Valid XHTML 1.0! Яндекс цитирования DSpace Software Copyright   ©   2002-2008   MIT   and   Hewlett-Packard - Обратная связь