Архив электронных ресурсов
[Зарегистрироваться]
 

eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1710

Название: Extinction of RF capacitive low-pressure discharges
Авторы: Lisovskiy, Valeriy
Booth, Jean-Paul
Martins, Sofia
Landry, Karine
Douai, David
Cassagne, Valerick
Ключевые слова: plasma physics
gas discharges
Дата публикации: Авг-2005
Издатель: EUROPHYSICS LETTERS
Библиографическое описание: Europhys. Lett., 71 (3), pp. 407–411 (2005)
Серия/Номер: ;DOI: 10.1209/epl/i2005-10108-1
Реферат: Breakdown and extinction curves have been measured for RF capacitive low-pressure discharges in nitrogen and hydrogen at a frequency of 13.56 MHz and discharge gaps between 6 and 25 mm. In particular, the low-pressure, high-voltage region of the extinction curves is reported for the first time. The shape of the extinction curves was found to be similar to that of the breakdown curves. At sufficiently large gaps (L > 10 mm) the RF extinction voltage was found to be multi-valued in the low-pressure region, as is observed for the breakdown voltage. In this region, extinction can occur when the voltage is increased because the width of the two sheaths occupies the whole discharge space.
URI: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1710
Располагается в коллекциях:Наукові роботи. Фізико-технічний факультет

Файлы этого ресурса:

Файл Описание РазмерФормат
Europhys_Lett_2005_Extinction.pdf237,94 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Просмотр статистики

Все ресурсы в архиве защищены авторским правом, все права сохранены.

 

Valid XHTML 1.0! Яндекс цитирования DSpace Software Copyright   ©   2002-2008   MIT   and   Hewlett-Packard - Обратная связь