Архив электронных ресурсов
[Зарегистрироваться]
 

eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1709

Название: The effect of discharge chamber geometry on the ignition of low-pressure rf capacitive discharges
Авторы: Lisovskiy, Valeriy
Martins, Sofia
Landry, Karine
Douai, David
Booth, Jean-Paul
Cassagne, Valerick
Yegorenkov, Vladimir
Ключевые слова: plasma physics
gas discharges
Дата публикации: Сен-2005
Издатель: PHYSICS OF PLASMAS
Библиографическое описание: PHYSICS OF PLASMAS 12, 093505 (2005)
Серия/Номер: ;DOI: 10.1063/1.2033748
Реферат: This paper reports measured and calculated breakdown curves in several gases of rf capacitive discharges excited at 13.56 MHz in chambers of three different geometries: parallel plates surrounded by a dielectric cylinder (“symmetric parallel plate”), parallel plates surrounded by a grounded metallic cylinder (“asymmetric parallel plate”), and parallel plates inside a much larger grounded metallic chamber (“large chamber”). The breakdown curves for the symmetric chamber have a multivalued section at low pressure. For the asymmetric chamber the breakdown curves are shifted to lower pressures and rf voltages, but the multivalued feature is still present. At higher pressures the breakdown voltages are much lower than for the symmetric geometry. For the large chamber geometry the multivalued behavior is not observed. The breakdown curves were also calculated using a numerical model based on fluid equations, giving results that are in satisfactory agreement with the measurements.
URI: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1709
Располагается в коллекциях:Наукові роботи. Фізико-технічний факультет

Файлы этого ресурса:

Файл Описание РазмерФормат
PhysPlasmas_12_093505_RF_Break.pdf295,78 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Просмотр статистики

Все ресурсы в архиве защищены авторским правом, все права сохранены.

 

Valid XHTML 1.0! Яндекс цитирования DSpace Software Copyright   ©   2002-2008   MIT   and   Hewlett-Packard - Обратная связь