Архив электронных ресурсов
[Зарегистрироваться]
 

eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1708

Название: Double layer onset inside the near-electrode sheath of a RF capacitive discharge in oxygen
Авторы: Lisovskiy, Valeriy
Yegorenkov, Vladimir
Ключевые слова: plasma physics
gas discharges
Дата публикации: Апр-2006
Издатель: www.elsevier.com/locate/vacuum
Библиографическое описание: Vacuum 80 (2006) 458–467
Серия/Номер: ;doi:10.1016/j.vacuum.2005.07.038
Реферат: This paper reports the axial profiles of the electron temperature Te in the RF capacitive discharge in oxygen recorded with a probe technique. We observed the Te peaks near the boundaries of the sheaths as well as inside the near-electrode sheath. The Te peak inside the sheath is, probably, due to the formation of the double layer at the anode phase of this near-electrode sheath. The assumption of a double layer formation is also supported by the photos of the sheath glow making evident the bright region inside the sheath. The results of our measurements agree with our fluid simulation satisfactorily.
URI: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1708
Располагается в коллекциях:Наукові роботи. Фізико-технічний факультет

Файлы этого ресурса:

Файл Описание РазмерФормат
Vacuum_2006.pdf296,85 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Просмотр статистики

Все ресурсы в архиве защищены авторским правом, все права сохранены.

 

Valid XHTML 1.0! Яндекс цитирования DSpace Software Copyright   ©   2002-2008   MIT   and   Hewlett-Packard - Обратная связь