Архив электронных ресурсов
[Зарегистрироваться]
 

eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1702

Название: Electron drift velocity in silane in strong electric fields determined from rf breakdown curves
Авторы: Lisovskiy, Valeriy
Booth, Jean-Paul
Landry, Karine
Douai, David
Cassagne, Valerick
Yegorenkov, Vladimir
Ключевые слова: plasma physics
gas discharges
Дата публикации: Май-2007
Издатель: JOURNAL OF PHYSICS D: APPLIED PHYSICS
Библиографическое описание: J. Phys. D: Appl. Phys. 40 (2007) 3408–3410
Серия/Номер: ;doi:10.1088/0022-3727/40/11/022
Реферат: We report measurements of the breakdown curves of an rf capacitive discharge in low pressure silane. The electron drift velocity was determined from the locations of the turning point and of the minimum in the breakdown curves in the range E/p = 145–1292 Vcm−1 Torr−1. We compare our results to values calculated from the published cross-sections in the range E/p = 1–2000 Vcm−1 Torr−1 and data calculated in other papers and find good agreement.
URI: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1702
Располагается в коллекциях:Наукові роботи. Фізико-технічний факультет

Файлы этого ресурса:

Файл Описание РазмерФормат
J_Phys_D_07_Vdr_SiH4.pdf143,68 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Просмотр статистики

Все ресурсы в архиве защищены авторским правом, все права сохранены.

 

Valid XHTML 1.0! Яндекс цитирования DSpace Software Copyright   ©   2002-2008   MIT   and   Hewlett-Packard - Обратная связь