Архив электронных ресурсов
[Зарегистрироваться]
 

eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1698

Название: Modes of rf capacitive discharge in low-pressure sulfur hexafluoride
Авторы: Lisovskiy, Valeriy
Booth, Jean-Paul
Jolly, Jacques
Martins, Sofia
Landry, Karine
Douai, David
Cassagne, Valerick
Yegorenkov, Vladimir
Ключевые слова: plasma physics
gas discharges
Дата публикации: Ноя-2007
Издатель: JOURNAL OF PHYSICS D: APPLIED PHYSICS
Библиографическое описание: J. Phys. D: Appl. Phys. 40 (2007) 6989–6999
Серия/Номер: ;doi:10.1088/0022-3727/40/22/020
Реферат: This paper presents the results of an experimental study of rf capacitive discharge in low-pressure SF6. The rf discharge in SF6 is shown to exist not only in weak-current (α-) and strong-current (γ -) modes but also in a dissociative δ-mode. This δ-mode is characterized by a high degree of SF6 dissociation, high plasma density, electron temperature and active discharge current, and it is intermediate between α- and γ -modes. The δ-mode appears due to a sharp increase in the dissociation rate of SF6 molecules via electron impact starting after a certain threshold value of rf voltage. At the same time the threshold ionization energy of SFx (x = 1–5) radicals formed is below the ionization potential of SF6 molecules. The double layer existing in the anode phase of the near-electrode sheath is shown to play an important role in sustaining the α- mode as well as the δ-mode but it is not a cause of the rf discharge transition from α- to δ-mode.
URI: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1698
Располагается в коллекциях:Наукові роботи. Фізико-технічний факультет

Файлы этого ресурса:

Файл Описание РазмерФормат
J_Phys_D_07_SF6.pdf679,2 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Просмотр статистики

Все ресурсы в архиве защищены авторским правом, все права сохранены.

 

Valid XHTML 1.0! Яндекс цитирования DSpace Software Copyright   ©   2002-2008   MIT   and   Hewlett-Packard - Обратная связь