Архив электронных ресурсов
[Зарегистрироваться]
 

eKhNUIR >
Фізико-технічний факультет >
Наукові роботи. Фізико-технічний факультет >

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1693

Название: Radial structure of low pressure rf capacitive discharges
Авторы: Lisovskiy, Valeriy
Kharchenko, Nadiia
Yegorenkov, Vladimir
Ключевые слова: plasma physics
gas discharges
Дата публикации: Фев-2010
Издатель: journal homepage: www.elsevier.com/locate/vacuum
Библиографическое описание: Vacuum 84 (2010) 782–791
Серия/Номер: ;doi:10.1016/j.vacuum.2009.10.037
Реферат: This paper studies the glow intensity distribution of the discharge plasma against the tube radius and reports the radial profiles of electron temperature and plasma concentration in the rf capacitive discharge registered with a Langmuir probe. An abrupt increase of electron temperature and glow intensity near the tube wall in the weak-current a-mode of the rf capacitive discharge is revealed, the radial distribution of plasma concentration and ion flow to the electrodes possessing a maximum near the radial sheath boundary. In the g-mode of the rf capacitive discharge the electron temperature decrease in the total plasma volume leads to an electric field weakening and the peak of the glow intensity near the tube wall vanishes. The radial sheath thickness in the a-mode of the rf capacitive discharge obtained with 2D simulation experiences pulsations during the rf field period, the changing radial electric field heating electrons and increasing the plasma concentration near the boundary of the radial sheath.
URI: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/1693
Располагается в коллекциях:Наукові роботи. Фізико-технічний факультет

Файлы этого ресурса:

Файл Описание РазмерФормат
Vacuum_2010_RF Radial structure.pdf2,1 MBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Просмотр статистики

Все ресурсы в архиве защищены авторским правом, все права сохранены.

 

Valid XHTML 1.0! Яндекс цитирования DSpace Software Copyright   ©   2002-2008   MIT   and   Hewlett-Packard - Обратная связь