Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів
Вантажиться...
Дата
2017
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харків: ХНУ імені В. Н. Каразіна
Анотація
Artushenko K.P. Physical processes in near-electrode sheaths and plasma of glow and radio frequency capacitive discharges. – Qualification scientific paper (manuscript).
6 Thesis for a Candidate of Science Degree in Physics and Mathematics (PhD) by speciality – plasma physics (Physics and mathematics). – V.N.Karazin Kharkiv National University, Kharkiv, 2017.
Опис
Дисертаційна робота присвячена розв’язанню наукового завдання, яке полягає у з'ясуванні структури і властивостей катодного шару і позитивного стовпа тліючого розряду, а також приелектродного шару і квазінейтральної плазми ВЧ ємнісного розряду. Найбільш важливою частиною тліючого розряду є катодний шар. У лабораторних і технологічних камерах низькотемпературна плазма зазвичай контактує з їх стінками, а також електродами, ленгмюрівськими зондами тощо. Між стінками розрядних камер і плазмою виникає перехідна область - приелектродний шар. Такий шар описується законом Чайльда-Ленгмюра (закон "3/2"), в якому не враховуються зіткнення позитивних іонів із молекулами газу. Для випадку руху іонів крізь шар із зіткненнями з молекулами газу в роботах інших дослідників було виведено два рівняння (за аналогією їх часто також називають рівняннями Чайльда-Ленгмюра), одне з яких передбачає рух іонів з постійною довжиною вільного пробігу i , а друге відповідає руху іонів з постійною рухливістю i. Доцільно з'ясувати, який із законів Чайльда-Ленгмюра може використовуватися для опису характеристик катодного шару.
Ключові слова
Research Subject Categories::SOCIAL SCIENCES::Social sciences::Education, Research Subject Categories::NATURAL SCIENCES, тліючий розряд, катодний ша, позитивний стовп, нормальний режим, аномальний режим, високочастотний ємнісний розряд, зведене електричне поле, glow discharge, cathode sheath, positive column, normal mode, abnormal mode, radio frequency capacitive discharge, reduced electric field
Бібліографічний опис
Артюшенко К.П. Фізичні процеси у приелектродних шарах i плазмі тліючого та високочастотного ємнісного розрядів. – Кваліфікаційна наукова праця на правах рукопису. Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико – математичних наук за спеціальністю 01.04.08 – фізика плазми (Фізико- математичні науки). – Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Харків, 2017.